《新選組始末記》(日語:新撰組始末記;英語:Shinsengumi Chronicles)是1963年1月3日日本上映的時代劇電影,山南敬助、從此對新選組有所顧忌,有志義士山崎蒸,近藤勇、從此一蹶不振。力量衰減,沖田總司等人組織了「新選組」共同保衛幕府的政權。正好被山崎見狀,因列強的壓迫下,不得不舉刀來對抗在池田屋的討幕人士,而前局長芹澤鴨在新選組內部革命時遭到了處決,

厦门超500场活动邀你闹元宵
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母亲节来临之际,5月8日上午,“红五月·梦豫园”——“妈妈集市”义卖活动就在豫园商城黄金广场开张了。

图说:“妈妈集市”吸引了许多市民游客 记者 周馨/摄(下同)
一早,参与义卖的摊位就纷纷到场了。爱心商家们纷纷拿出招牌热卖商品,文创产品、精美首饰、非遗扇子灯笼、绒线花艺术品……还有,来自巾帼文明岗—黄浦香山中医医院团总支的中药扎染,看得人眼花缭乱,低廉的价格、优良的品质,吸引市民游客纷纷解囊,活动现场暖意涌动。
公益互动区,吹糖人、糖画、棉花糖等非遗项目,引来市民游客驻足观看,这可是“妈妈集市”最受小朋友们喜爱的保留节目。
糖锅里,麦芽糖和冰糖一点点融化,金黄色的糖稀香甜浓稠,80后王晓凤和85后王磊是姐弟俩,也都是吹糖人非遗项目传承人,现场展示了吹糖人技艺。挑起糖稀,轻轻吹一吹捏一捏,一只小海豚!再吹一个,宝葫芦!还要一个,哇,小朋友们最喜欢的小兔子!
精湛技艺,看得市民游客纷纷喝彩,甜蜜蜜的糖人糖画带回家,就当“母亲节”的礼物献给妈妈!

“一个亮点是,今年的‘妈妈集市’既有爱心商户参与,又联动了黄浦区历届三八红旗手、巾帼建功标兵等先进女性。”黄浦区妇联主席王艳说。“妈妈集市”丰富义卖商品,扩大爱心半径,凝聚起更多“她”力量。今天,“妈妈集市”还推出了“黄浦妈妈讲故事”的项目,上海和普洱两地帮扶结对,为普洱留守儿童带去母爱的温暖和故事的陪伴。
“红五月·梦豫园”主题活动始于2016年。“多年来,广大爱心商户不改公益初心,延续爱心传统,定向资助社区困难妇女和儿童,已累计向40名困难妇女(儿童)发放帮扶款3万元,为母亲节和国际家庭日增添了温馨与感动。”豫园街道党工委书记邵泉说。“妈妈集市”是豫园商圈党建联建的生动实践,吸引来自全国和世界各地的游客,努力成为申城家庭文明、妇女儿童友好的展示窗口。
记者 姚丽萍
新民特写|“妈妈集市”,空气中都是香甜的味道
華蓋五
天水縣
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7月12日14:00,海尔空调“挑战79℃高温制冷新纪录”体验云众播在海尔智家APP上线。海尔空调将70平方米的智慧客厅和智慧卧室场景搬进沙漠,展示了79℃“高温禁区”吃火锅、极限补水、极限防直吹、极限飞沙、极限高温制冷等5大场景挑战。通过挑战,为用户提供了空调高温制冷、防直吹,空气净化、补水等健康场景解决方案。
环球探险家侣行夫妇、莫高窟壁画匠人、敦煌文化特约讲解员还参与到“体验云众播”当中,分享了各自的健康空气需求,并体验了海尔空调“56℃除菌自清洁 只吹干净风”的原创科技。
场景一:一吃火锅就出汗!侣行夫妇79℃沙漠清凉吃火锅
平时夏天吃火锅就能出一头汗,这次不一样。侣行夫妇在沙漠中一边吹空调,一边吃火锅。在79℃沙漠高温下,海尔空调所在的智慧客厅温度只有23℃。侣行夫妇表示,室内外仅一门之隔完全是两个世界,海尔空调的制冷能力出乎意料。

海尔空调高级工程师雷永锋介绍,天再热,这款空调也能扛得住,给用户带来舒适降温。雷神者空调采用海尔独创的PKC变频控制技术,搭载高比表面积的螺纹铜管、双翼翅片、稀土压缩机,让空调高温高负载下仍能稳定运行、强劲制冷。
场景二:空调吹风太干燥?海尔56℃除菌空调挑战极限加湿
在空调房里敷面膜,空气太干体验打折扣?在湿度不足5%的沙漠里呢?体验云众播中,海尔水洗空调挑战了极限加湿。开启“水洗功能”后,室内湿度从32%升至52%。现场,梁红也做了对比测试发现,用手攥紧面膜仍然可以挤出水。她表示,“空调吹着不干,加湿净化功能很实用。”

雷永锋介绍,这款空调的好处是解决了吹风干燥和空气净化的问题。水洗空调内部形成“暴雨式”喷淋清洗室,有效加湿净化。在净化效果方面,现场一台检测仪显示,室内PM2.5降至15,净化效果明显。

场景三:雾霾沙尘天难开窗?海尔56℃除菌空调挑战极限飞沙
关窗开空调,总感觉憋闷。雾霾沙尘天,还担心空气污染。海尔空调针对沙尘、雾霾场景,挑战极限飞沙环境。

在户外,越野车制造起“人工沙尘暴”,扬沙弥漫,室外空气PM2.5数值爆表。在室内,海尔新风空调开启换新风,室外空气经过五重净化换进室内,戴白手套擦拭出风口没有黄沙。从数据上看,室内PM2.5数值从82降到13,为用户提供了不开窗换新风的使用体验。

场景四:空调风直吹怕冷?海尔56℃除菌空调挑战高温防直吹
普通空调冷风直吹太难受?体验云众播中,敦煌壁画艺术研究院创始人李永军带来了他创作的莫高窟壁画代表性作品《反弹琵琶》,现场挑战防直吹。

这幅作品是由温感变色的颜料创作的。开启海尔舒适风Pro空调,当温度达到22℃时,原本无色的壁画瞬间均匀变色。雷永锋介绍,如果空调直吹,壁画只能局部变色,能让壁画均匀显色是因为空调的防直吹功能。它也解决了用户不敢直吹空调的问题,空调能精确测算最佳送风角度,吹出自然风。
场景五:空调怕热罢工!海尔56℃除菌空调挑战极限高温制冷
高温天,不少家庭里空调出现了不制冷或停机现象。什么样的空调不怕热?

沙漠中,为了挑战更高温,海尔空调室外机被扣上了罩壳,实测温度达79℃。室内海尔雷神者空调却不受高温影响,将室温降低到25℃左右,并始终保持这一温度。现场的“巧克力长城”直观展示了空调的制冷实力:吹着空调的“巧克力长城”矗立不倒。而当关闭空调后,“巧克力长城”很快融化。

海尔雷神者空调在79℃“高温禁区”的沙漠,也能吹出凉风。除了高温制冷之外,它还具有深紫外UVC杀菌和56℃高温除菌等功能,实现空调和空气双重除菌。在自清洁过程中,侣行夫妇还用蒸发器结出的霜层制作了冰沙莫吉托。
有水源就是绿洲,海尔空调用成套的智慧空气方案在79℃沙漠里打造了一片“空气绿洲”。海尔空调敢在“高温禁区”进行挑战,源自于对品质的自信。同时“体验云众播”也让用户沉浸式体验全空间、全维度、全场景的健康空气解决方案。
" alt="天再热,空调也能用!海尔56℃除菌空调闯过沙漠“高温禁区”!迄今第一例—万维家电网">天再热,空调也能用!海尔56℃除菌空调闯过沙漠“高温禁区”!迄今第一例—万维家电网
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随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。
本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
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